Beschreibung
Keramische Heizplatten aus Siliziumnitrid können bis zum Außendurchmesser von 300 mm hergestellt werden, innerhalb dieses Durchmessers sind sämtliche Rechteckformen, Sonderformate und Durchbrüche möglich, eine typische Höhe der Platte ist 5 mm. Die Eigenschaften der Keramik und die geringe Masse ermöglichen schnelle Aufheizraten, eine homogene Temperaturverteilung und sehr gute Regelgenauigkeit. Aufgrund der geringen Wärmedehnung der Keramik bleibt die Oberfläche auch bei Temperaturwechselbetrieb im Vergleich zu Metallen sehr eben. Die hohe Festigkeit des heißgepressten Siliziumnitrids erlaubt eine hohe Beanspruchung (z.B. bei Druckbelastung) bei sehr geringem Verschleiß.
Wir bieten Heizplatten für den Betrieb an Luft bis 500 °C an, für höhere Anforderungen (bis 1000 °C)
können Sonderlösungen erarbeitet werden. Beim Dauerbetrieb an Luft bei > 900 °C ist allerdings mit einer begrenzten Standzeit von ca. 2500 Betriebsstunden zu rechnen, während beim Betrieb unter Hochvakuum auch bei 1000 °C die Alterung extrem gering ist.
Kundenspezifisches Design
Unser hauseigenes Design bietet eine Anpassung der Größe und Bauform, Leistung, sowie das Einbringen
von Bohrungen für Halterung und Temperaturregelung, außerdem sind gelaserte Vakuumrillen möglich.
Die Plattenheizer werden flachgeschliffen, können aber für besondere Anforderungen auch auf < 10 μm
Ebenheit bearbeitet werden. Ebenfalls sind abweichende Konturen möglich, die der Form des zu
beheizenden Gutes bzw. Werkzeugs angepasst werden können. Unser keramischer Heizleiter und das kundenspezifische Design realisieren außerdem die Integration von mehreren Heizzonen, Wärmeentzugskompensationen und eines internen Messleiters für die Temperaturmessung.
Für den Betrieb im Hochvakuum bis 1000 °C kann eine Pinkontaktierung angeboten werden.
Anwendungsbereiche
Keramische Heizplatten finden Anwendung bei:
- Halbleiterherstellungsanlagen (z.B. Bonder)
- Beschichtungsanlagen (CVD, PVD)
- Lötanlagen
- Vakuumtechnik
- Verpackungsmaschinen
- Medizintechnik
- Maschinenbau
- Pressen
- F&E – Laborgeräte, Mess- und Prüfgeräte, Reaktoren
- Werkzeugbeheizung
Diagramme
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