Beschreibung
Flachheizer aus Siliziumnitrid sind typischerweise rechteckig, innerhalb unseres Matrizendurchmessers
von 300 mm können verschiedene Maße und Losgrößen hergestellt werden. Die Eigenschaften der
Keramik und die geringe Masse ermöglichen schnelle Aufheizraten, eine homogene Temperatur-
verteilung und sehr gute Regelgenauigkeit. Kleine Heizelemente können geregelt mit einer sehr hohen
Oberflächenleistung betrieben werden und erlauben hohe Prozesstaktzeiten.
Aufgrund der geringen Wärmedehnung der Keramik bleibt die Oberfläche auch bei Temperaturwechsel-
betrieb im Vergleich zu Metallen sehr eben. Die hohe Festigkeit des heißgepressten Siliziumnitrids erlaubt
eine hohe Beanspruchung (z.B. bei Druckbelastung) bei sehr geringem Verschleiß.
Wir bieten Flachheizer für den Betrieb an Luft bis 500 °C an, für höhere Anforderungen (bis 1000 °C)
können Sonderlösungen erarbeitet werden.
Kundenspezifisches Design
Unser hauseigenes Design bietet eine Anpassung der Größe und Bauform, Leistung, sowie das Einbringen von Bohrungen für Halterung und Temperaturregelung, außerdem sind gelaserte Vakuumrillen möglich. Die Flachheizer werden flachgeschliffen, können aber für besondere Anforderungen auch auf < 10 μm Ebenheit bearbeitet werden. Ebenfalls sind abweichende Konturen möglich, die der Form des zu beheizenden Gutes bzw. Werkzeugs angepasst werden können. Unser keramischer Heizleiter und das kundenspezifische Design realisieren außerdem die Integration von mehreren Heizzonen, Wärmeentzugskompensationen und eines internen Messleiters zur Temperaturmessung.
Anwendungsbereiche
Keramische Flachheizer finden Anwendung bei:
- Halbleiterherstellungsanlagen (z.B. Bonder)
- Beschichtungsanlagen, Verdampfern
- Lötanlagen
- Vakuumtechnik
- Verpackungsmaschinen
- Kunststofftechnik
- Medizintechnik
- Maschinenbau
- F&E – Laborgeräte, Mess- und Prüfgeräte, Reaktoren
- Werkzeugbeheizung
Diagramme
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